一種用于狹縫涂布模頭與載片平臺(tái)之間的調(diào)平裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021558657.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213078998U 公開(kāi)（公告）日 2021-04-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN213078998U 申請(qǐng)公布日 2021-04-30
分類號(hào) B05C11/00 分類 一般噴射或霧化；對(duì)表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 王中洋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大正（江蘇）微納科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳興旺
地址 212132 江蘇省鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)南徐大道298號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于狹縫涂布模頭與載片平臺(tái)之間的調(diào)平裝置，包括測(cè)試組件及調(diào)平緩沖組件，測(cè)試組件包括電源、燈珠及導(dǎo)電膜，燈珠包含并聯(lián)設(shè)置的燈珠一、燈珠二，電源的一個(gè)電極電連接于燈珠，導(dǎo)電膜設(shè)有兩個(gè)絕緣帶；調(diào)平緩沖組件包括載片平臺(tái)、底板，載片平臺(tái)、底板之間通過(guò)若干等高的彈性柱連接，調(diào)平緩沖組件還設(shè)有調(diào)平裝置；電源的另一電極通過(guò)模頭導(dǎo)線連接于模頭。本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)精度高，對(duì)操作人員的技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)要求較低，經(jīng)過(guò)測(cè)試，采用本實(shí)施例的調(diào)平裝置，其誤差可控制在1um以內(nèi)；可提高操作的重復(fù)性，降低操作要求，技術(shù)成本相對(duì)也更低，保證成膜的質(zhì)量，并減小模頭及狹縫唇口損壞的風(fēng)險(xiǎn)。