一種浸沒式光刻機(jī)浸液溫控裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010994847.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112034689B 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN112034689B 申請公布日 2021-10-08
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 李小平;曹迪 申請（專利權(quán)）人 武漢智能裝備工業(yè)技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢華之喻知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廖盈春;曹葆青
地址 430074 湖北省武漢市珞喻路1037號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種浸沒式光刻機(jī)浸液溫控裝置，包括：第一級溫控模塊通過對PCW循環(huán)回路的加熱功率和流量控制，調(diào)節(jié)PCW循環(huán)回路中PCW的溫度，并通過將PCW循環(huán)回路和UPW循環(huán)回路熱交換來調(diào)節(jié)從光刻機(jī)中回收的UPW的溫度，使UPW的溫度達(dá)到穩(wěn)定的設(shè)定值；第二級溫控模塊將經(jīng)第一級溫控模塊調(diào)節(jié)溫度后的UPW液體分成兩路UPW通路，并基于兩路UPW通路熱負(fù)載的差異調(diào)節(jié)兩路UPW的溫度使得兩路UPW的溫度均溫度保持在設(shè)定值；第二級溫控模塊流出的兩路UPW注入所述浸沒式光刻機(jī)，使得浸沒式光刻機(jī)能夠基于UPW浸沒流場工作。本發(fā)明控制PCW的溫度和流量與浸液進(jìn)行熱交換，對PCW溫度波動具有緩沖能力。