晶圓藍(lán)膜的張緊和調(diào)節(jié)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111051603.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113658900A 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN113658900A 申請公布日 2021-11-16
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 盧國強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 深圳市優(yōu)界科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市查策知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曾令安
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道君子布社區(qū)凌屋工業(yè)路9號廠房201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了晶圓藍(lán)膜的張緊和調(diào)節(jié)裝置，涉及張緊調(diào)節(jié)裝置技術(shù)領(lǐng)域；包括基座，所述基座上間隔設(shè)置有支架，支架遠(yuǎn)離基座的一端固定連接有支撐板，輸送機(jī)構(gòu)固定連接在支撐板遠(yuǎn)離基座的一端，驅(qū)動機(jī)構(gòu)固定連接在基座遠(yuǎn)離支架的一端，張緊機(jī)構(gòu)固定連接在基座遠(yuǎn)離驅(qū)動機(jī)構(gòu)的一端，且與支撐板滑動連接，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動連接在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的內(nèi)部；本發(fā)明的有益效果是：所述晶圓藍(lán)膜的張緊和調(diào)節(jié)裝置能夠在晶圓藍(lán)膜輸送的過程中自動化的進(jìn)行張緊調(diào)節(jié)，還能夠在更換晶圓藍(lán)膜時只需要調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)就能夠?qū)Ω鼡Q后的晶圓藍(lán)膜在輸送時進(jìn)行張緊，提高了裝置的張緊效果，也減少了工作人員的工作量，節(jié)約了時間，提高了裝置的工作量效率以及實(shí)用性。