一種晶圓自動(dòng)分選機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111158975.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113751368A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113751368A 申請(qǐng)公布日 2021-12-07
分類號(hào) B07C5/342（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 盧國(guó)強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市優(yōu)界科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市查策知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曾令安
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道君子布社區(qū)凌屋工業(yè)路9號(hào)廠房201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種晶圓自動(dòng)分選機(jī)，屬于晶圓生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括底箱、光學(xué)檢測(cè)機(jī)、晶圓支撐板、晶圓盛放部、第一驅(qū)動(dòng)部、第二驅(qū)動(dòng)部、抽吸部以及轉(zhuǎn)盤(pán)，所述晶圓支撐板活動(dòng)安裝在所述轉(zhuǎn)盤(pán)側(cè)壁，所述第一驅(qū)動(dòng)部安裝在所述底箱內(nèi)部，第一驅(qū)動(dòng)部輸出端與所述轉(zhuǎn)盤(pán)相連，用于帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)盤(pán)間歇轉(zhuǎn)動(dòng)，所述晶圓盛放部設(shè)置在所述底箱一側(cè)，用于對(duì)待檢測(cè)的晶圓進(jìn)行盛放，所述第二驅(qū)動(dòng)部以及所述抽吸部均安裝在所述轉(zhuǎn)盤(pán)一側(cè)。本發(fā)明實(shí)施例相較于現(xiàn)有技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)待檢測(cè)晶圓的自動(dòng)上料，從而提高了晶圓的安裝精度以及檢測(cè)效率，極大程度的降低了晶圓的檢測(cè)成本。