一種可擴容晶圓分選機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110965977.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113649296A 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN113649296A 申請公布日 2021-11-16
分類號 B07C5/02（2006.01）I;B07C5/34（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I;B07C5/38（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 盧國強 申請（專利權(quán)）人 深圳市優(yōu)界科技有限公司
代理機構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 黃勇
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道君子布社區(qū)凌屋工業(yè)路9號廠房201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種可擴容晶圓分選機，涉及晶圓分選機的技術(shù)領(lǐng)域，包括箱體，箱體中設(shè)置有放置臺，放置臺上設(shè)置有用于分選晶粒的分選機構(gòu)，放置臺上設(shè)置有用于夾持和移動晶圓的夾持機構(gòu)，放置臺上設(shè)置有安裝臺，安裝臺上設(shè)置有多個已分類空/滿盤料匣和若干未分類片料匣，安裝臺上設(shè)置有多個限位板，限位板長度方向互相平行，已分類空/滿盤料匣設(shè)置在限位板之間。本申請具有減少已分類空/滿盤料匣在箱體內(nèi)位置偏移的幾率的效果。