一種全自動晶圓分選機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110965992.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113649298A 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN113649298A 申請公布日 2021-11-16
分類號 B07C5/02（2006.01）I;B07C5/34（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I;B07C5/38（2006.01）I 分類 將固體從固體中分離；分選;
發(fā)明人 盧國強 申請（專利權）人 深圳市優(yōu)界科技有限公司
代理機構 北京維正專利代理有限公司 代理人 黃勇
地址 518000廣東省深圳市龍華區(qū)觀瀾街道君子布社區(qū)凌屋工業(yè)路9號廠房201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種全自動晶圓分選機，涉及晶圓分選機的技術領域，包括箱體，箱體內(nèi)設置有放置臺，放置臺上設置有用于分選晶粒的分選機構，放置臺上設置有夾持機構，夾持機構上設置有夾具一和夾具二，夾具一和夾具二用于在箱體內(nèi)移動并將晶圓移動至分選機構中，放置臺上可拆卸連接有未分類片料匣和已分類空/滿盤料匣，夾持機構用于將未分類片料匣中的晶圓移動至分選機構中，夾持機構用于將分選后的晶圓移動至已分類空/滿盤料匣中。本申請具有提升分選晶圓的效率的效果。