一種高調制效率的鈮酸鋰薄膜電光調制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610911122.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107957631A 公開（公告）日 2018-04-24
申請公布號 CN107957631A 申請公布日 2018-04-24
分類號 G02F1/035 分類 光學;
發(fā)明人 李萍;史云玲 申請（專利權）人 武漢奇普微半導體有限公司
代理機構 天津市三利專利商標代理有限公司 代理人 張義
地址 300000 天津市北辰區(qū)北辰經濟技術開發(fā)區(qū)雙辰中路5號(辦公樓702-016室)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高調制效率的鈮酸鋰薄膜電光調制器，通過將鈮酸鋰電光調制器的電極制備成上下型結構，上層電極(信號極)分別位于光學波導上方，下層電極為地電極，因而上下型電極結構對光學波導可以起到100％的調制效率，遠高于傳統(tǒng)鈮酸鋰電光調制器的40％至50％的電光調制效率；此外，本申請采用具有單晶結構的、厚度為0.1μm至10μm的鈮酸鋰薄膜材料，可實現與傳統(tǒng)鈮酸鋰電光調制器相比更短的電極間距。上述兩方面因素可大幅降低鈮酸鋰電光調制器的半波電壓。