鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610907886.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107957630A 公開（公告）日 2018-04-24
申請公布號 CN107957630A 申請公布日 2018-04-24
分類號 G02F1/035 分類 光學;
發(fā)明人 李萍;史云玲 申請（專利權(quán)）人 武漢奇普微半導體有限公司
代理機構(gòu) 天津市三利專利商標代理有限公司 代理人 張義
地址 300000 天津市北辰區(qū)北辰經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)雙辰中路5號(辦公樓702-016室)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件，包括：基底材料、下層電極、下緩沖層、鈮酸鋰薄膜、波導耦合器、Y分支波導、上緩沖層、波導耦合器吸收層電極和Y分支波導調(diào)制器電極。本發(fā)明所述鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件可實現(xiàn)3dB波導耦合器與Y波導調(diào)制器的單片集成，有利于該集成芯片的小型化，可實現(xiàn)光纖陀螺用集成光學器件集成度的提升、光纖陀螺儀體積的縮小以及光纖陀螺系統(tǒng)可靠性的提升。本申請還公開了一種制造上述鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件的制造方法。