基于特氟龍材料緩沖層的新型寬帶鈮酸鋰電光調制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610907785.X 申請日 -
公開（公告）號 CN107957629A 公開（公告）日 2018-04-24
申請公布號 CN107957629A 申請公布日 2018-04-24
分類號 G02F1/035 分類 光學;
發(fā)明人 李萍;范寶泉 申請（專利權）人 武漢奇普微半導體有限公司
代理機構 天津市三利專利商標代理有限公司 代理人 張義
地址 300000 天津市北辰區(qū)北辰經濟技術開發(fā)區(qū)雙辰中路5號(辦公樓702-016室)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于特氟龍材料緩沖層的新型寬帶鈮酸鋰電光調制器，自下而上依次包括：基底材料、光學波導、緩沖層、電極結構，所述緩沖層采用厚度為0.1um至5um的特氟龍材料，所述光學波導采用鈦擴散光學波導或退火質子交換光學波導，波導擴散寬度為1至20μm，擴散深度為1至20μm。本申請利用特氟龍材料的低介電常數特性，使鈮酸鋰寬帶電光調制器的工作帶寬得以進一步提高，提升了器件性能指標，并克服了當前鈮酸鋰脊型波導電光調制器存在的二氧化硅緩沖層需進行平坦化處理的工藝難點，降低了鈮酸鋰寬帶電光調制器的加工難度和成本，提升了產品合格率。