一種抑制泡生法藍(lán)寶石單晶縮肩的冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010708972.1 申請日 -
公開（公告）號 CN111850688A 公開（公告）日 2020-10-30
申請公布號 CN111850688A 申請公布日 2020-10-30
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 左洪波;楊鑫宏;李鐵;吳巖 申請（專利權(quán)）人 哈爾濱秋碩半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 150001黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街357號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種抑制泡生法生長藍(lán)寶石單晶縮肩的冷卻裝置。該結(jié)構(gòu)整體由導(dǎo)熱管、吸熱管、散熱管組成，導(dǎo)熱管為圓環(huán)形管路，位于坩堝與加熱體之間上部四分之一位置，圍繞并靠近坩堝，不與加熱體接觸，吸熱管、散熱管與導(dǎo)熱管連通且位置對稱，通過小爐蓋延伸至爐體外部，并與蒸發(fā)機(jī)連接。導(dǎo)熱管、吸熱管、散熱管均為鎢鉬材質(zhì)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，便于安裝、拆卸、維修，同時可靈活調(diào)節(jié)單晶上部縮肩位置換熱量，進(jìn)而改變晶體生長形態(tài)，有效抑制晶體縮肩，提高晶體出材。??