一種泡生法藍寶石單晶爐用坩堝蓋結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010707407.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111850687A 公開（公告）日 2020-10-30
申請公布號 CN111850687A 申請公布日 2020-10-30
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 左洪波;楊鑫宏;李鐵;馬宗羽 申請（專利權）人 哈爾濱秋碩半導體科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 150001黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街357號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種泡生法藍寶石單晶爐用坩堝蓋結構，該結構整體由圓環(huán)鉬板、鎢板、間隔鉬板用的鉬螺母、整體通過鉬螺栓以及鉬絲固定連接，圓環(huán)鉬板包括至少兩層圓形鉬片；圓形鉬片、鎢板中間留有直徑不同的同心圓內孔，整體由間隔鉬板用的鉬螺母、鉬螺栓以及鉬絲制作的鉚釘固定；坩堝蓋包括上半部圓環(huán)和下半部圓環(huán)，上半部圓環(huán)外徑大于下半部圓環(huán)外徑，上半部圓環(huán)和下半部圓環(huán)圓心相同外徑不同，同心圓內孔直徑從上到下先變小在變大；每層鉬片內徑尺寸也不相同，坩堝蓋的最下層鎢板為圓形；每層鉬板、鎢板之間由鉬螺母間隔，通過鉬螺栓、鉬絲穿接固定。本發(fā)明由鉬絲以及間隔鉬片的鉬螺母穿接固定，形成頭尾片可靈活拆卸結構，可以有效減小放肩階段生長界面的底部圓錐角度，降低大尺寸晶體肩部缺陷，提高晶體晶體良率。??