一種抑制泡生法藍(lán)寶石單晶縮肩的冷卻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021451290.9 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN212505156U 公開(公告)日 2021-02-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN212505156U 申請(qǐng)公布日 2021-02-09
分類號(hào) C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 左洪波;楊鑫宏;李鐵;吳巖 申請(qǐng)(專利權(quán))人 哈爾濱秋碩半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 150001黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街357號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種抑制泡生法生長藍(lán)寶石單晶縮肩的冷卻裝置。該結(jié)構(gòu)整體由導(dǎo)熱管、吸熱管、散熱管組成,導(dǎo)熱管為圓環(huán)形管路,位于坩堝與加熱體之間上部四分之一位置,圍繞并靠近坩堝,不與加熱體接觸,吸熱管、散熱管與導(dǎo)熱管連通且位置對(duì)稱,通過小爐蓋延伸至爐體外部,并與蒸發(fā)機(jī)連接。導(dǎo)熱管、吸熱管、散熱管均為鎢鉬材質(zhì)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,便于安裝、拆卸、維修,同時(shí)可靈活調(diào)節(jié)單晶上部縮肩位置換熱量,進(jìn)而改變晶體生長形態(tài),有效抑制晶體縮肩,提高晶體出材。??