一種泡生法藍(lán)寶石單晶爐用坩堝蓋結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021451484.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212505157U | 公開（公告）日 | 2021-02-09 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212505157U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-09 |
| 分類號(hào) | C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 左洪波;楊鑫宏;李鐵;馬宗羽 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 哈爾濱秋碩半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 150001黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街357號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種泡生法藍(lán)寶石單晶爐用坩堝蓋結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)整體由圓環(huán)鉬板、鎢板、間隔鉬板用的鉬螺母、整體通過鉬螺栓以及鉬絲固定連接，圓環(huán)鉬板包括至少兩層圓形鉬片；圓形鉬片、鎢板中間留有直徑不同的同心圓內(nèi)孔，整體由間隔鉬板用的鉬螺母、鉬螺栓以及鉬絲制作的鉚釘固定；坩堝蓋包括上半部圓環(huán)和下半部圓環(huán)，上半部圓環(huán)外徑大于下半部圓環(huán)外徑，上半部圓環(huán)和下半部圓環(huán)圓心相同外徑不同，同心圓內(nèi)孔直徑從上到下先變小在變大；每層鉬片內(nèi)徑尺寸也不相同，坩堝蓋的最下層鎢板為圓形；每層鉬板、鎢板之間由鉬螺母間隔，通過鉬螺栓、鉬絲穿接固定。本實(shí)用新型由鉬絲以及間隔鉬片的鉬螺母穿接固定，形成頭尾片可靈活拆卸結(jié)構(gòu)，可以有效減小放肩階段生長(zhǎng)界面的底部圓錐角度，降低大尺寸晶體肩部缺陷，提高晶體晶體良率。?? |
