一種雙軸差動(dòng)電容式微機(jī)械加速度計(jì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710304799.3 申請日 -
公開（公告）號 CN101216498A 公開（公告）日 2008-07-09
申請公布號 CN101216498A 申請公布日 2008-07-09
分類號 G01P15/125(2006.01);B81B7/02(2006.01) 分類 測量；測試;
發(fā)明人 高宏;丁煒;畢國楦;胡向陽;才海南;董景新;張嶸 申請（專利權(quán)）人 北京通智信達(dá)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 紫光通訊科技有限公司
地址 100084北京市海淀區(qū)清華大學(xué)紫光大樓503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種雙軸差動(dòng)電容式微機(jī)械加速度計(jì)，屬于微機(jī)電系統(tǒng)中的慣性傳感器領(lǐng)域；該速度計(jì)包括一個(gè)由硅片，設(shè)置在該硅片上的四個(gè)方形可動(dòng)電極和將各可動(dòng)電極隔離開的絕緣層構(gòu)成的敏感質(zhì)量元件，與該硅片水平相對的基片，設(shè)置在該基片上的與四個(gè)方形可動(dòng)電極相對應(yīng)的四個(gè)方形固定電極，設(shè)置在該硅片兩端固定該硅片的兩個(gè)橫向折疊梁；固定該橫向折疊梁的兩個(gè)縱向折疊梁；將該兩個(gè)縱向折疊梁固定有該基片上的立柱；使四個(gè)可動(dòng)電極平面相對基片懸空平行。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高的特點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)高精度的二維加速度測量。