一種差動電容式微機(jī)械加速度計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710179596.6 申請日 -
公開（公告）號 CN101187674A 公開（公告）日 2008-05-28
申請公布號 CN101187674A 申請公布日 2008-05-28
分類號 G01P15/125(2006.01) 分類 測量；測試;
發(fā)明人 高宏;丁煒;畢國楦;胡向陽;董景新;張嶸 申請（專利權(quán)）人 北京通智信達(dá)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 紫光通訊科技有限公司
地址 100084北京市海淀區(qū)清華大學(xué)紫光大樓503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種差動電容式微機(jī)械加速度計，屬于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)中的慣性傳感器領(lǐng)域，本速度計包括由硅片、絕緣層和可動電極組成的敏感質(zhì)量元件、固定電極、基片、折疊梁；可動電極以柵狀等間距分布在硅片上，絕緣層將各個可動電極在空間上隔離開；折疊梁構(gòu)造在敏感質(zhì)量元件兩端，并通過立柱固定于基片上，使整個可動電極平面相對基片平面懸空平行；該固定電極等間距布置在基片上，固定電極與可動電極交錯配置，形成一組差動電容。本發(fā)明增大了質(zhì)量塊的敏感質(zhì)量，從而大幅度提高靈敏度和分辨率。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，并使用集成電路平面制造工藝加工可動電極和固定電極，成本低廉、加工工藝簡單，可重復(fù)性強(qiáng)、成品率高、易于批量生產(chǎn)。