一種鍍膜機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110557721.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113151799A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113151799A 申請公布日 2021-07-23
分類號 C23C14/35;C23C14/56;C23C14/50 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李俊華;王文;丁家昌;艾其波 申請（專利權）人 安徽亦高光電科技有限責任公司
代理機構 南昌恒橋知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 楊志宇
地址 237000 安徽省六安市舒城縣杭埠鎮(zhèn)經(jīng)濟開發(fā)區(qū)杭埠園區(qū)產(chǎn)投產(chǎn)業(yè)園D3幢（香樟大道與石蘭路交叉口）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種鍍膜機，其特征在于：包括真空室、基片架、鍍前清洗機、AF前清洗機，所述真空室內(nèi)設置有旋轉平臺，所述真空室繞圓周均勻設置有真空鍍膜腔，所述真空室為高1.8m、直徑3m的圓心結構，使得真空室體積處于6?18m3之間。所述真空室為圓形立柱，內(nèi)部下端安裝有360旋轉軌道，所述軌道上設置有旋轉軸承，所述旋轉軸承下方設置有軸承電機，所述軸承電機與所述旋轉軸承控制連接，所述真空室上端設置有傳輸軌道，所述傳輸軌道根據(jù)設備鍍膜腔數(shù)量對應分為若干鏈接點，所述鏈接點上均設置有光電感應器，本發(fā)明為一種高適應性、高效率、高質量的新型鍍膜機。