一種半導(dǎo)體材料加工用的測(cè)量裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111535891.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114111510A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114111510A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類號(hào) | G01B5/02（2006.01）I;G01B3/18（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 任志紅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 山東元捷電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 濰坊諾誠(chéng)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 佘莉芳 |
| 地址 | 276100山東省臨沂市郯城縣郯城高科技電子產(chǎn)業(yè)園 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種半導(dǎo)體材料加工用的測(cè)量裝置，涉及檢測(cè)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明包括安裝底座；測(cè)量操作軸，測(cè)量操作軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在安裝底座的左端面；測(cè)量組件，測(cè)量組件固定連接在測(cè)量底座的頂部；測(cè)量傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，測(cè)量傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在安裝底座的前部?jī)?nèi)側(cè)，測(cè)量操作軸通過(guò)測(cè)量傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)測(cè)量組件對(duì)物料進(jìn)行測(cè)量動(dòng)作。本發(fā)明通過(guò)三組均勻排布的測(cè)量組件對(duì)物料進(jìn)行測(cè)量，對(duì)三組測(cè)量組件之間的距離進(jìn)行調(diào)節(jié)，滿足對(duì)不同長(zhǎng)度物料的測(cè)量，同時(shí)保證三組測(cè)量點(diǎn)的均勻排布，能夠更好的反應(yīng)物品的尺寸，實(shí)現(xiàn)三組測(cè)量組件的同步測(cè)量，大幅度提高工作效率，解決現(xiàn)有測(cè)量裝置在使用過(guò)程中需要反復(fù)進(jìn)行測(cè)量操作，測(cè)量效率低，同時(shí)難以保證測(cè)量點(diǎn)均勻排布的問(wèn)題。 |
