一種再生晶圓化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111312049.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113861848A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113861848A 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類(lèi)號(hào) C09G1/02（2006.01）I 分類(lèi) 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類(lèi)目不包含的組合物；其他類(lèi)目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 徐賀;衛(wèi)旻嵩;卞鵬程;王慶偉;李國(guó)慶;王永東;崔曉坤;王瑞芹 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 萬(wàn)華化學(xué)集團(tuán)電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 264006山東省煙臺(tái)市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)北京中路50號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種再生晶圓化學(xué)機(jī)械拋光液及其制備方法，其質(zhì)量百分?jǐn)?shù)組成包括5％～50％的研磨顆粒、0.1％～10％的速率促進(jìn)劑、0.5％～5％的絡(luò)合劑、0.1％～2％的pH調(diào)節(jié)劑、0.001％～1％的非離子表面活性劑和0.001％～1％的甜菜堿型兩性離子表面活性劑，余量為水。該拋光液可有效修復(fù)再生晶圓表面損傷，去除表面殘余膜，并保持對(duì)硅晶圓的高去除速率。拋光后再生晶圓表面質(zhì)量?jī)?yōu)異，增加循環(huán)使用次數(shù)。