電極板的制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410530096.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104319211A 公開(kāi)（公告）日 2015-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN104319211A 申請(qǐng)公布日 2015-01-28
分類號(hào) H01J9/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱焰焰;余鳳斌;李建國(guó);曾海軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北川天訊新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南日新專利代理事務(wù)所 代理人 崔曉艷
地址 622750 四川省綿陽(yáng)市北川羌族自治縣山東產(chǎn)業(yè)園云盤(pán)南路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種電極板的制造方法，該電極板的制造方法包括步驟1，在玻璃基板上通過(guò)濺射工藝鍍上ITO膜并通過(guò)光刻顯影方法做出電極圖形；步驟2，用感光膠膜均勻粘貼于步驟1的玻璃基板上，并通過(guò)光刻顯影方法露出電極位置；步驟3，采用物理處理方法對(duì)步驟2玻璃基板進(jìn)行前處理，提高基板表面的清潔度；步驟4，在步驟3處理后的玻璃基板上鍍金屬層；以及步驟5，將步驟4處理后的玻璃基板表面膠膜清洗掉，露出電極。該電極板的制造方法解決了現(xiàn)有電子器件電極制作成本高、工藝繁雜、原材料浪費(fèi)嚴(yán)重、圖形精度不夠等問(wèn)題。