一種精密設備測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021875362.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213209105U 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN213209105U 申請公布日 2021-05-14
分類號 G01D21/00;G01D11/00;G01D11/30 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張銳;閻碩;鮑禹辰 申請（專利權）人 東電檢測技術服務（天津）有限公司
代理機構 天津企興智財知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 陳雅潔
地址 300000 天津市濱海新區(qū)開發(fā)區(qū)微電子工業(yè)區(qū)微四路19號D-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種精密設備測試裝置，括底部支撐臺、左吸盤裝置、右吸盤裝置及中吸盤裝置，所述底部支撐臺置于工裝底座上。將待測精密設備置于底部支撐臺上，在根據(jù)精密設備的大小對底部支撐臺、左吸盤裝置、右吸盤裝置及中吸盤裝置進行調(diào)節(jié)，將精密設備吸附在吸盤裝置上，對待測精密設備進行測試，工裝底座上有軟墊，防止精密設備的磕碰，吸盤裝置上有防滑軟墊，增強了裝置的穩(wěn)定性。本實用新型所述的精密設備測試裝置結(jié)構簡單，穩(wěn)定性高，不易產(chǎn)生磕碰，能夠測試各種形狀的精密設備。