一種防止晶圓Map圖移位的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510535712.8 申請日 -
公開（公告）號 CN106483443B 公開（公告）日 2019-12-24
申請公布號 CN106483443B 申請公布日 2019-12-24
分類號 G01R31/28 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李亮;楊穎超;李鑫 申請（專利權(quán)）人 北京確安科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王瑩
地址 100094 北京市海淀區(qū)永豐基地豐賢中路7號孵化樓A樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在晶圓測試過程中防止Map圖移位的方法，在晶圓測試之前，做PTPA時，不用探針臺設(shè)備常規(guī)的方法，而是采用手動選擇模式找針，選定距離最遠(yuǎn)的特定兩個site的探針做為定位site。該方法解決了多site并行測試過程中Map圖移位的發(fā)生，是一個有效、可靠的預(yù)防方法。