一種基于MES的晶圓測試方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910031026.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111435146A 公開（公告）日 2020-07-21
申請公布號 CN111435146A 申請公布日 2020-07-21
分類號 G01R31/28(2006.01)I;G06F9/451(2018.01)I 分類 -
發(fā)明人 金蘭 申請（專利權(quán)）人 北京確安科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王瑩;李相雨
地址 100094北京市海淀區(qū)永豐基地豐賢中路7號孵化樓A樓二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例提供一種基于MES的晶圓測試方法及系統(tǒng)，該方法包括：根據(jù)待測晶圓的批次信息，在MES上獲取對應(yīng)的測試信息，并將批次信息及測試信息存儲到測試機(jī)的配置文件中；其中，測試信息包括測試程序存儲路徑；然后，啟動測試機(jī)UI模塊；測試機(jī)UI模塊通過讀取配置文件獲取測試程序存儲路徑，調(diào)用測試程序存儲路徑中存儲的測試程序，啟動測試機(jī)利用測試程序?qū)Υ郎y晶圓進(jìn)行測試。本發(fā)明實(shí)施例提供的基于MES的晶圓測試方法及系統(tǒng)，克服了直接使用UI樣本程序的不足和缺陷，將之前在UI上的大量手動錄入操作代替為系統(tǒng)自動操作，減輕操作員工作量，降低誤操作的可能性。??