觸持陰極離子束刻蝕機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN96229574.4 申請日 -
公開（公告）號 CN2281555Y 公開（公告）日 1998-05-13
申請公布號 CN2281555Y 申請公布日 1998-05-13
分類號 G03F7/00 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 陳紹金 申請（專利權）人 上海華洋工貿公司
代理機構 上海市浦東專利事務所 代理人 上海華洋工貿公司
地址 200135上海市浦東楊高中路2709號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種由機框、真空室、離子源、中和器、二件臺、指示表頭和電源源控制柜組成的觸持陰極離子束刻蝕機,其特征在于離子源的觸持陰極由陰極座(1)、陰極安裝支座(2)、鉭管(3)、發(fā)射體(4)、觸持極(5)、引出極(6)組成,增設了電子分配擋板(7)、徑向流量分配器(10),還增設了由屏柵極(19)和加速極(20)組成的束流匹配柵,中和器為等離子體橋中和器,本實用新型的離子源功耗低,壽命長、工藝參數(shù)穩(wěn)定,可以在反應離子束刻蝕狀態(tài)下順利地工作,刻蝕室溫度低,污染小,完全滿足加工多種半導體器件的需要。