可配置的法拉第屏蔽體及其操作方法、等離子體處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111574139.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114695054A 公開(kāi)（公告）日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114695054A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類號(hào) H01J37/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 龍茂林 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京易光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開(kāi)提供了可配置的法拉第屏蔽體及其操作方法、等離子體處理裝置。該可配置的法拉第屏蔽體包括多個(gè)肋狀體。每個(gè)肋狀體可以沿圓周方向彼此間隔開(kāi)。此外，可配置的法拉第屏蔽體的至少一部分至少在第一位置和第二位置之間可移動(dòng)，以將可配置的法拉第屏蔽體選擇性地耦合到射頻接地平面。當(dāng)可配置的法拉第屏蔽體的至少一部分處于第一位置時(shí)，可配置的法拉第屏蔽體可與射頻接地平面去耦合，使得可配置的法拉第屏蔽體電浮動(dòng)。相反，當(dāng)可配置的法拉第屏蔽體的至少一部分處于第二位置時(shí)，可配置的法拉第屏蔽體可被耦合到射頻接地平面，使得可配置的法拉第屏蔽體電接地。