用于ICP源的冷卻屏蔽體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111571118.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114695053A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695053A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01J37/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 龍茂林 申請（專利權）人 北京屹唐半導體科技股份有限公司
代理機構 北京易光知識產權代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)北京經濟技術開發(fā)區(qū)經海二路28號8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了包括等離子體室和感應耦合的等離子體源的等離子體處理設備或系統。所述屏蔽裝置被設置在等離子體室和感應耦合的等離子體源之間。屏蔽裝置包括頂環(huán)形部分、底環(huán)形部分和多個熱墊，所述熱墊通過一個或多個保持構件被接合到頂環(huán)形部分和/或底環(huán)形部分。所述一個或多個保持構件提供壓縮力以抵靠介電壁的外表面固定一個或多個熱墊。多個熱墊被配置為調節(jié)從介電壁到相應熱墊的熱通量。本公開還公開了處理工件的方法。