末端執(zhí)行器和用于處理工件的系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210475606.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114743854A 公開（公告）日 2022-07-12
申請公布號 CN114743854A 申請公布日 2022-07-12
分類號 H01J37/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬丁·L·朱克;P·J·倫貝西斯;T·特維斯;瑞安·帕庫爾斯基;馬紹銘;楊曉晅 申請（專利權(quán)）人 北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京易光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 美國加利福尼亞州
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供了一種用于在處理工件的系統(tǒng)內(nèi)移動工件和可更換部件的末端執(zhí)行器，末端執(zhí)行器沿著軸向在近端和遠端之間延伸。該末端執(zhí)行器包括：臂部分，沿著軸向在第一臂端與第二臂端之間延伸，第一臂端位于末端執(zhí)行器的近端；刮刀部分，沿著軸向在第一刮刀端和第二刮刀端之間延伸，第一刮刀端與第二臂端相鄰，且第二刮刀端位于末端執(zhí)行器的遠端；第一支撐構(gòu)件，從刮刀部分的上表面向外延伸；第二支撐構(gòu)件，從刮刀部分的上表面向外延伸；和，共用的支撐構(gòu)件，從臂部分的上表面向外延伸，其中，共用的支撐構(gòu)件和第一支撐構(gòu)件一起被配置為支撐第一直徑的工件，共用的支撐構(gòu)件和第二支撐構(gòu)件一起被配置為支撐第二直徑的可更換部件。