帶有外部氣體通道插入件的工件處理裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111587556.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114695056A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114695056A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 龍茂林;W·曾 申請（專利權(quán)）人 北京屹唐半導體科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京易光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供了一種用于將氣體注入處理腔室的氣體注入組件。在一些示例中，氣體注入組件可以包括用于接收氣流的入口。氣體注入組件可以包括用于分配自入口接收的氣流的多個氣體進料口。氣體注入組件可以包括豎直布置在氣體注入組件內(nèi)側(cè)的多個子通道，多個子通道包括：上部子通道，用于接收來自入口的氣流，并將氣流細分至一組孔口，以形成第一氣流分支和第二氣流分支，第一氣流分支對應(yīng)于通過一組孔口的第一子組的氣流的第一部分，并且第二氣流分支對應(yīng)于通過一組孔口的第二子組的氣流的第二部分；以及多個出口子通道，用于將氣流細分至多個氣體進料口。