一種多晶太陽(yáng)電池減反射膜的擴(kuò)容鍍膜工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910858991.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110600556A 公開(kāi)（公告）日 2019-12-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN110600556A 申請(qǐng)公布日 2019-12-20
分類(lèi)號(hào) H01L31/0216（2014.01）; H01L31/18（2006.01）; C23C16/34（2006.01）; C23C16/505（2006.01）; C23C28/04（2006.01） 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 高越; 倪佳; 張華東 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江德西瑞無(wú)紡科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州永航聯(lián)科專(zhuān)利代理有限公司 代理人 羅偉清
地址 314400 浙江省嘉興市海寧市尖山新區(qū)仙俠路116號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種多晶太陽(yáng)電池減反射膜的擴(kuò)容鍍膜工藝，屬于電池片加工技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有電池片加工效率慢、色差大的等技術(shù)問(wèn)題。一種多晶太陽(yáng)電池減反射膜的擴(kuò)容鍍膜工藝，其特征在于，包括以下步驟：S1、對(duì)鍍膜腔室內(nèi)充入N2進(jìn)行吹掃，將電池片制絨后放置石墨舟并置于鍍膜腔室中進(jìn)行加熱；S2、對(duì)鍍膜腔室抽空并形成真空狀態(tài)；S3、對(duì)鍍膜腔室內(nèi)通入NH3、SiH4，啟動(dòng)射頻發(fā)射器，功率為11250w，使其電池片表面形成第一層膜；S4、關(guān)閉射頻發(fā)射器，并持續(xù)通入NH3、SiH4，鍍膜腔室內(nèi)壓力提高至1600Pa，使其電池片的第一層膜表面形成第二層膜；S5、抽空；S6、出舟。本發(fā)明具有加工效率高、色差小的優(yōu)點(diǎn)。