一種晶圓測(cè)試探針卡
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020478728.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213023246U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213023246U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | G01R1/067(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 洪流;簡(jiǎn)維廷;鐘賢岱 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 洪啟集成電路（珠海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州駿思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張金龍 |
| 地址 | 519080廣東省珠海市高新區(qū)唐家灣鎮(zhèn)港灣大道科技一路10號(hào)主樓第六層602房0單元 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種晶圓測(cè)試探針卡，包括底層PCB板，在底層PCB板上固定設(shè)置有測(cè)試探針，所述測(cè)試探針包括中空的探針柱、探針頭，所述探針柱一端連接PCB板，另一端連接所述探針頭，所述探針柱形同氣缸結(jié)構(gòu)，往探針柱中通入氣壓，活塞推動(dòng)探針向下移動(dòng)，當(dāng)探針和焊盤接觸時(shí)探針會(huì)產(chǎn)生形變，當(dāng)形變的力大小達(dá)到測(cè)試所需要的力大小時(shí)，接觸良好，針停止移動(dòng)，此時(shí)的力與測(cè)試所需要的接觸力相等，測(cè)試完成時(shí)，關(guān)閉氣壓，活塞帶動(dòng)針返回原來位置。本實(shí)用新型所述的探針卡可以在不增加損壞產(chǎn)品風(fēng)險(xiǎn)的基礎(chǔ)上，控制每根探針在測(cè)試時(shí)接觸力的大小與所需要的力相等，最大程度上減少接觸不良問題。?? |
