一種OLED的TEM樣品制備方法以及一種OLED的TEM樣品

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110254083.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112881439A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN112881439A 申請(qǐng)公布日 2021-06-01
分類號(hào) G01N23/04;G01N1/28 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張啟華;張勇為;袁元;吳文靜;蔣軍浩;簡(jiǎn)維廷;張潔;其他發(fā)明人請(qǐng)求不公開(kāi)姓名 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洪啟集成電路（珠海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州駿思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 潘桂生
地址 519080 廣東省珠海市高新區(qū)唐家灣鎮(zhèn)哈工大路1號(hào)1棟C106
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的提供一種OLED的TEM樣品制備方法，在OLED樣品的所述切割區(qū)域設(shè)置金屬有機(jī)氣體化合物，通過(guò)FIB將所述金屬有機(jī)氣體化合物進(jìn)行分解沉積在所述切割區(qū)域表面形成保護(hù)層；在表面沉積有保護(hù)層的所述切割區(qū)域，挖設(shè)兩個(gè)相交的槽形成待取樣的樣品，將所述待取樣的樣品加工成楔形的形狀，其中，加工后的所述待取樣的樣品的兩個(gè)橫截面沿著其相交的一端到另一端的厚度均不相同；將待取樣的樣品的底部切斷，通過(guò)探針固定待取樣的樣品，切斷待取樣的樣品剩余與樣品連接的部分，得到初步的TEM樣品；將初步的TEM樣品放置于銅網(wǎng)上進(jìn)行減薄，獲得最終的TEM樣品。能夠在單個(gè)樣品的橫截面擁有不同的厚度，清楚辨別不同材料層之間的界面，從而量測(cè)不同材料層的厚度。