行星輪鼠籠式工件架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020280460.1 申請日 -
公開（公告）號 CN201793727U 公開（公告）日 2011-04-13
申請公布號 CN201793727U 申請公布日 2011-04-13
分類號 C23C14/50(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王宇;趙延華 申請（專利權(quán)）人 深圳市振恒昌實業(yè)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)同樂村丁甲嶺工業(yè)區(qū)9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型行星輪鼠籠式工件架，安裝在真空室中，包括與電動機齒輪嚙合的旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，固定連接于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上的鼠籠式轉(zhuǎn)架，其特征是所述旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括一端和電機錐齒輪嚙合的磁流體轉(zhuǎn)軸，固定連接于磁流體轉(zhuǎn)軸上的行星輪盤，固定在行星輪盤并與固定齒輪嚙合的行星齒輪，連接于行星齒輪上的架體，焊接在架體上的絲網(wǎng)。采用鼠籠絲網(wǎng)滾鍍的辦法，適合那些沒有辦法懸掛或夾、卡的產(chǎn)品。采用行星輪鼠籠結(jié)構(gòu)，可以同時處理更多的產(chǎn)品。針對不同形狀的產(chǎn)品，采用三角形、菱形、橢圓菱形或圓形的鼠籠結(jié)構(gòu)，而且鼠籠每個邊的尺寸比產(chǎn)品的略大，這樣既可以讓產(chǎn)品翻轉(zhuǎn)，產(chǎn)品的翻轉(zhuǎn)是可控的，所以膜層的厚度和均勻性都是可控的，而且也避免了產(chǎn)品的劃傷。