一種新型熱陰極電弧裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN200920133064.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN201427990Y | 公開(kāi)（公告）日 | 2010-03-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN201427990Y | 申請(qǐng)公布日 | 2010-03-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/22(2006.01)I;C23C14/30(2006.01)I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 王宇;王強(qiáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市振恒昌實(shí)業(yè)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)同樂(lè)村丁甲嶺工業(yè)區(qū)9號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種新型熱陰極電弧裝置，包括：引弧裝置、水冷裝置、靶材、固定靶材的靶材固定裝置、磁場(chǎng)裝置、磁場(chǎng)裝置外圍的屏蔽罩，其特征是：所述引弧裝置包括微型汽缸、固定微型汽缸的汽缸固定絕緣板、一端連接汽缸桿和定位塊，另一端固定引弧針的引弧桿、固定引弧桿的固定座，及連接汽缸固定絕緣板和固定座的支撐桿；所述靶材固定裝置包括外座體，置于外座體內(nèi)部的內(nèi)座體，置于內(nèi)座體與外座體之間的外表面上的水咀座和連接座。采用氣動(dòng)引弧，力量大，速度快，故障率低；采用間接水冷，水冷效果好；更換靶材方便外屏蔽罩采用尼龍材質(zhì)，使得裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，成本大幅度降低。 |
