一種新型結(jié)構(gòu)平面磁控濺射靶

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920205480.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN201506830U 公開（公告）日 2010-06-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN201506830U 申請(qǐng)公布日 2010-06-16
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王宇;張強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市振恒昌實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)同樂村丁甲嶺工業(yè)區(qū)9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種新型結(jié)構(gòu)平面磁控濺射靶，主要包括靶體裝置和座體裝置，靶體裝置包括靶體、安裝在靶體上的鐵板、鋁板、置于鋁板和靶體圍成軌道上的磁鐵、再順次安裝的銅壓板、靶材，座體裝置包括密封座、套裝在密封座外圈的密封絕緣套；其特征是：所述靶材緊貼安裝在銅板上，并用壓條壓好，用螺釘固定，所述磁鐵分為分為中間部分和外端部分。本實(shí)用新型在結(jié)構(gòu)上采取優(yōu)化設(shè)計(jì)，靶材緊貼銅壓板安裝，水冷效果顯著，更換靶材時(shí)只需將壓條上的螺釘拆卸即可，克服了直接水冷靶更換靶材時(shí)漏水的缺點(diǎn)，并且此種結(jié)構(gòu)只有在更換磁鐵時(shí)才會(huì)拆卸密封位置，大幅度的減少了密封位置的拆卸次數(shù)，降低了因拆卸而劃傷密封面的概率，提高了靶的使用壽命。