一種新型靶管旋轉(zhuǎn)磁控濺射圓柱靶

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920260554.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201545907U 公開(kāi)（公告）日 2010-08-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN201545907U 申請(qǐng)公布日 2010-08-11
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王宇;張強(qiáng) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市振恒昌實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)同樂(lè)村丁甲嶺工業(yè)區(qū)9號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種新型靶管旋轉(zhuǎn)磁控濺射圓柱靶，包括靶頭部分和靶體部分；所述靶頭部分包括：空心軸、靶頭導(dǎo)水管、套接于空心轉(zhuǎn)軸前端的分水器；所述靶體部分包括：與空心軸螺接的管狀靶材，與靶頭導(dǎo)水管掛接的磁軸；其特征是：所述空心軸是階梯狀空心的軸，所述大齒輪與空心軸通過(guò)螺釘固定在一起，所述磁軸包括導(dǎo)水管、導(dǎo)水管外圈套裝的導(dǎo)磁體和磁鐵；此裝置采用管狀靶材，中間通水冷卻，并進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。管內(nèi)安裝釹鐵硼磁軸。磁鐵的排布方式為導(dǎo)磁體的兩端要和外圈磁場(chǎng)聯(lián)接起來(lái)，形成封閉的磁場(chǎng)。本裝置密封水，密封真空，不漏水，可以抗磁和防止生銹，靶材利用率高。