可調(diào)角度百葉窗式節(jié)流閥

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920133065.8 申請日 -
公開（公告）號 CN201427991Y 公開（公告）日 2010-03-24
申請公布號 CN201427991Y 申請公布日 2010-03-24
分類號 C23C14/56(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王宇;張強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 深圳市振恒昌實業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)同樂村丁甲嶺工業(yè)區(qū)9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 可調(diào)角度百葉窗式節(jié)流閥是用在真空鍍膜系統(tǒng)中的，它包括動力源和閥體本體，動力源包括步進(jìn)電機(jī)和由步進(jìn)電機(jī)帶動的齒輪，齒輪包括小齒輪和大齒輪，大齒輪固接閥體本體的引出軸；閥體本體還包括有多片節(jié)流板，所有節(jié)流板通過連接桿連接在一起，中間位置的節(jié)流板一端固接引出軸，另一端固接轉(zhuǎn)軸，除中間位置的其它節(jié)流板兩端都固接有轉(zhuǎn)軸；步進(jìn)電機(jī)帶動齒輪轉(zhuǎn)動，齒輪帶動引出軸，并且?guī)铀泄?jié)流板同時進(jìn)行轉(zhuǎn)動，節(jié)流板轉(zhuǎn)過不同角度，在真空接口處形成不同的流導(dǎo)，可以實現(xiàn)不同的充氣量，真空度穩(wěn)定在某一相同值；采用多塊節(jié)流板，可以減小節(jié)流板回轉(zhuǎn)半徑，減小裝配空間。