一種鐘擺式基板蝕刻裝置及蝕刻工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111159789.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113896427A 公開（公告）日 2022-01-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN113896427A 申請(qǐng)公布日 2022-01-07
分類號(hào) C03C15/00（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 嚴(yán)立巍;符德榮;陳政勛;文鍾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江同芯祺科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李曉峰
地址 312000浙江省紹興市越城區(qū)皋埠街道銀橋路326號(hào)1幢4樓415室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種鐘擺式基板蝕刻裝置，包括蝕刻槽，蝕刻槽外壁上方對(duì)稱固定安裝升降導(dǎo)軌，升降導(dǎo)軌之間固定安裝橫板，橫板兩端與升降導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，橫板中間固定安裝鐘擺機(jī)構(gòu)，鐘擺機(jī)構(gòu)底部固定安裝蝕刻籃，蝕刻籃內(nèi)壁對(duì)稱固定安裝若干夾板，夾板均勻等距設(shè)置，夾板遠(yuǎn)離蝕刻籃一側(cè)設(shè)有V形槽，V形槽的內(nèi)壁固定安裝彈性墊，蝕刻槽底部固定安裝氣體分布器。本發(fā)明通過鐘擺機(jī)構(gòu)帶動(dòng)蝕刻籃做鐘擺簡諧運(yùn)動(dòng)，基板在兩個(gè)夾板存在一定的偏斜角度，使基板擺動(dòng)時(shí)與蝕刻液之間存在一定的應(yīng)力緩沖，減少了基板破損的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)隨著蝕刻槽底部的氣體分布器均勻產(chǎn)生向上的垂直氣泡，以達(dá)到無死角的反應(yīng)生成物移除，提高基板表面的蝕刻均勻度。