一種晶圓鋁條燒寫確認測試防護裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110806186.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113485540A 公開（公告）日 2021-10-08
申請公布號 CN113485540A 申請公布日 2021-10-08
分類號 G06F1/20（2006.01）I;G06F8/61（2018.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 常兵;鄒桂明;杭曉宇;管林翔;王冰 申請（專利權）人 江蘇七維測試技術有限公司
代理機構 成都三誠知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 饒振浪
地址 214000江蘇省無錫市南湖大道503號3幢201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了晶圓加工領域的一種晶圓鋁條燒寫確認測試防護裝置，包括安裝盒，安裝盒內安裝有燒寫器，燒寫器的右側于安裝盒內安裝有燒寫盒，燒寫盒內安裝有兩個晶圓固定裝置，安裝盒的頂部安裝有頂蓋裝置，安裝盒的右側安裝有用于固定頂蓋裝置的鎖緊裝置，安裝盒的底部安裝有延伸至其內部的水冷裝置，水冷裝置包括：水箱、水泵、主體管、吸熱球和冷卻管，水箱安裝于安裝盒的底部，水箱內安裝有水泵，安裝盒的內部左右兩側分別安裝有一個主體管，主體管上設置有多個吸熱球，水泵通過水管與主體管相連，主體管通過水管與冷卻管相連，冷卻管通過水管與水箱相連。本發(fā)明結構簡單，散熱性好，防護性強。