一種負載有納米銀的氟化石墨烯復合材料的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610594377.3 申請日 -
公開（公告）號 CN106086820B 公開（公告）日 2019-01-11
申請公布號 CN106086820B 申請公布日 2019-01-11
分類號 C23C16/511（2006.01）I; C23C16/30（2006.01）I; C23C14/30（2006.01）I; C23C14/18（2006.01）I; B82Y40/00（2011.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王振中 申請（專利權）人 廈門烯成石墨烯科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 361015 福建省廈門市火炬高新區(qū)創(chuàng)業(yè)園偉業(yè)樓南樓S301c室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種負載有納米銀的氟化石墨烯復合材料的制備方法，包括如下步驟：1)將石墨烯薄膜至于PECVD反應室中，設壓力為5×10?4?10?3Pa，溫度為200?600℃，等離子體產生的微波功率為300?500W，以氬氣為載體，通入氟氣，反應1?20h，得到氟化石墨烯薄膜；2)將得到的氟化石墨烯薄膜轉移至原子沉積腔室中，采用惰性氣體除氣20min?30min，調節(jié)超真空反應腔的真空度為10?6?10?7Pa，調節(jié)溫度為400℃?700℃；3)以銀為靶材，通過電子束轟擊蒸發(fā)形成銀反應氣源，通入到沉積腔室中，時間為20?100ns，再通入惰性載氣50?200ns，重復步驟5?20min，交替通入銀反應氣源和惰性載氣，在氟化石墨烯薄膜上生長形成納米銀，得到負載有納米銀的氟化石墨烯復合材料。本發(fā)明得到的復合材料具有優(yōu)良性能。