基于互聯(lián)網(wǎng)方式的設(shè)備遠(yuǎn)程預(yù)測(cè)性維護(hù)系統(tǒng)及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110763510.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113469383A | 公開（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113469383A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類號(hào) | G06Q10/00（2012.01）I;G06Q10/04（2012.01）I;G06Q50/04（2012.01）I;G07C3/00（2006.01）I | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 劉耀宏;楊少封;孫宇彤;郝相如 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 山西大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京奧文知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張文 |
| 地址 | 030031山西省太原市小店區(qū)長治路354號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種基于互聯(lián)網(wǎng)方式的設(shè)備遠(yuǎn)程預(yù)測(cè)性維護(hù)系統(tǒng)及方法。該系統(tǒng)包括：數(shù)據(jù)采集模塊、數(shù)據(jù)庫管理模塊和預(yù)測(cè)維護(hù)模塊；數(shù)據(jù)采集模塊與微電子制造裝備連接，用于實(shí)時(shí)采集微電子制造裝備的運(yùn)行狀態(tài)信息；數(shù)據(jù)庫管理模塊與數(shù)據(jù)采集模塊連接，用于接收和存儲(chǔ)運(yùn)行狀態(tài)信息；預(yù)測(cè)維護(hù)模塊與數(shù)據(jù)庫管理模塊連接，用于提取數(shù)據(jù)庫管理模塊存儲(chǔ)的運(yùn)行狀態(tài)信息，并根據(jù)提取的運(yùn)行狀態(tài)信息進(jìn)行微電子制造裝備的狀態(tài)趨勢(shì)預(yù)測(cè)、剩余壽命預(yù)測(cè)和維護(hù)方案確定。本發(fā)明的基于互聯(lián)網(wǎng)方式的設(shè)備遠(yuǎn)程預(yù)測(cè)性維護(hù)系統(tǒng)及方法能實(shí)現(xiàn)微電子制造裝備的預(yù)測(cè)性維護(hù)分析，預(yù)先識(shí)別故障的早期征兆，避免突發(fā)故障，提高微電子制造裝備的安全性和可靠性，減少維修保養(yǎng)成本。 |
