一種阻變存儲(chǔ)器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111457206.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114156409A 公開（公告）日 2022-03-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114156409A 申請(qǐng)公布日 2022-03-08
分類號(hào) H01L45/00（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁勇;嚴(yán)麒;陳麗霞;任佳瑩;胡穎蔚;蔡舒群 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州國(guó)家集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)化基地有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州裕陽(yáng)聯(lián)合專利代理有限公司 代理人 高明翠
地址 310000浙江省杭州市濱江區(qū)六和路368號(hào)一幢（北）四樓B4125室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種阻變存儲(chǔ)器及其制備方法，包括：襯底；下電極，下電極和襯底相連接；阻變層，阻變層和下電極相連接；上電極，上電極和阻變層相連接，阻變層設(shè)置在下電極和上電極之間，有益效果在于阻變存儲(chǔ)器在高阻態(tài)與低阻態(tài)之間轉(zhuǎn)變時(shí)，吸收或者釋放大量氧原子，在阻變存儲(chǔ)器從低阻態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)楦咦钁B(tài)時(shí)，釋放出的大量氧原子可以大大促進(jìn)阻變層中的導(dǎo)電細(xì)絲的斷開，并且使得導(dǎo)電細(xì)絲斷開地更為徹底，通過有效加強(qiáng)阻變層中導(dǎo)電細(xì)絲通道的斷開，使得增大電極之間的電阻，達(dá)到增大阻變存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)窗口的效果。