掩膜版及濾光片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911174507.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112859511A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112859511A 申請公布日 2021-05-28
分類號 G03F1/54(2012.01)I;G02F1/1335(2006.01)I;G02F1/1339(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 王紅光;王菁晶;范剛洪;王群;徐廣軍 申請（專利權）人 上海儀電顯示材料有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 唐嘉
地址 201108上海市閔行區(qū)華寧路3306弄160號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種掩膜版及濾光片，其中，所述掩膜版包括：基板；吸收層，位于所述基板上；多個多邊形開口，位于所述吸收層內且暴露出所述基板，所述多邊形開口具有多個角部，相鄰所述多邊形開口的其中一個所述角部相對設置。利用本發(fā)明實施例提供的掩膜版形成的濾光片上的間隔柱，可以降低相鄰間隔柱之間的相連高度，提高間隔柱尺寸的測量準確性。??