光罩及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911318776.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113009778A 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN113009778A 申請公布日 2021-06-22
分類號 G03F1/68;G03F1/54;G03F1/62 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 紀(jì)榮昌;于海濤;陳瑤;張莉 申請（專利權(quán)）人 上海儀電顯示材料有限公司
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 唐嘉
地址 201108 上海市閔行區(qū)華寧路3306弄160號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光罩及其制作方法，其中，制作方法包括：提供透明基材；在所述透明基材表面形成吸收層；在所述吸收層表面形成半透膜層；在所述半透膜層表面形成光催化薄膜層。本發(fā)明提供的制作方法形成的光罩，新增一層光催化薄膜層，可以解決光罩的霧化問題。