一種振動(dòng)復(fù)合柔性磨拋裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710528424.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107414665B | 公開（公告）日 | 2019-12-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107414665B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-12-10 |
| 分類號(hào) | B24B37/10（2012.01）; B24B37/26（2012.01）; B24B37/34（2012.01）; B24B57/02（2006.01） | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 肖遠(yuǎn)健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇普銳斯鉆石工具有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廈門智慧呈睿知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 郭福利;魏思凡 |
| 地址 | 361100 福建省廈門市同安區(qū)集安路7-13號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種振動(dòng)復(fù)合柔性磨拋裝置，所述磨拋裝置包括連接軸、背板、壓電陶瓷、研磨盤以及研磨墊，所述背板固定在所述連接軸的一端，所述研磨盤固定在所述背板上；所述背板開設(shè)有容腔，所述背板的邊緣朝向所述研磨盤凸起環(huán)形的固定部，所述研磨盤包括環(huán)形肩以及位于環(huán)形肩中部的凸臺(tái)，所述環(huán)形肩與所述固定部固定連接，所述凸臺(tái)與所述環(huán)形肩之間通過柔性鉸鏈連接，所述容腔內(nèi)對(duì)應(yīng)所述凸臺(tái)的位置設(shè)有所述壓電陶瓷；所述研磨墊貼設(shè)在所述凸臺(tái)上。本發(fā)明通過讓凸臺(tái)中部的振動(dòng)幅度大于外圍的振動(dòng)幅度，有助于控制結(jié)構(gòu)柔性和研磨的材料去除率。進(jìn)一步，研磨墊的研磨面上開設(shè)有呈螺旋線分布的細(xì)溝槽使得研磨加工材料去除更佳均勻，提高研磨平面的磨拋質(zhì)量。 |
