一種電鏡輸入氣路智能控制系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022607624.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213749676U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213749676U 申請公布日 2021-07-20
分類號 G01N23/2206（2018.01）I;G01N30/02（2006.01）I;G05B19/05（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 任憲平;劉偉;劉岳峰;蔣倩;徐尚君;苗澍;黃興;楊冰;吳卓克;杜霞茹 申請（專利權(quán)）人 大連圣邁化學有限公司
代理機構(gòu) 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人 汪海
地址 116023遼寧省大連市沙河口區(qū)中山路457-41號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及電鏡輔助系統(tǒng)領(lǐng)域，具體地說是一種電鏡輸入氣路智能控制系統(tǒng)，包括增濕罐、靜態(tài)混合器、輸出氣路和多個輸入氣路，輸入氣路上設(shè)有管道隔膜閥、純化柱、過濾器、入口壓力表、減壓器、出口壓力表、第一質(zhì)量流量計、流量計出口逆止閥和氣路控制閥，各個輸入氣路的輸出端均與一個中間管路相連，所述中間管路的輸出端與靜態(tài)混合器一側(cè)相連，靜態(tài)混合器另一側(cè)與輸出氣路相連，且所述輸出氣路上設(shè)有電磁開關(guān)閥、電動調(diào)節(jié)閥和真空硅，靜態(tài)混合器下端與排出氣路相連，增濕罐設(shè)于任一輸入氣路與靜態(tài)混合器之間。本實用新型減少占地空間，減小誤差，減少調(diào)節(jié)步驟，節(jié)約調(diào)節(jié)時間，減少成本，可以按預定方案進行通氣、沖洗、配比。