一種硅片脫膠用傳輸機械裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620882158.0 申請日 -
公開（公告）號 CN206003755U 公開（公告）日 2017-03-08
申請公布號 CN206003755U 申請公布日 2017-03-08
分類號 H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王學(xué)軍 申請（專利權(quán)）人 平?jīng)鲋须娍菩履茉醇夹g(shù)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 744000 甘肅省平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)工業(yè)園區(qū)東西路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及機械領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片脫膠用傳輸機械裝置。包含承載板，所述承載板上包含兩組動臂結(jié)構(gòu)，所述動臂結(jié)構(gòu)包含固定在承載板上的氣缸，氣缸伸出氣缸軸連接邊軸，邊軸包含兩組且分別位于承載板的兩側(cè)，邊軸能夠被氣缸軸推動著前進，邊軸邊側(cè)固定有掛鉤臂，掛鉤臂下方為掛鉤。有益效果：導(dǎo)軌對于氣缸和連桿的運動進行導(dǎo)向，掛鉤整體固定在連桿兩端，做掛鉤和脫鉤動作，可帶動料籃在不同工藝槽之間運動，對硅片進行脫膠，霍爾傳感器對掛鉤和脫鉤位置進行檢測并報警。