一種自調(diào)節(jié)式拋光壓頭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121197124.5 申請日 -
公開（公告）號 CN214771306U 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN214771306U 申請公布日 2021-11-19
分類號 B24B41/04（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 寇明虎;劉泳灃 申請（專利權(quán)）人 北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 101300北京市順義區(qū)順強路1號1幢2號樓101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種自調(diào)節(jié)式拋光壓頭，包括壓頭，其特征在于：還包括壓頭過渡板、限位拉釘、壓頭中板、中圈壓環(huán)、彈性膠膜、外圈壓環(huán)、內(nèi)圈壓環(huán)和調(diào)節(jié)快接插頭，所述壓頭過渡板通過緊固螺栓和墊圈與驅(qū)動主軸連接，所述緊固螺栓從所述壓頭過渡板的底部向上穿過墊圈和壓頭過渡板通孔與驅(qū)動主軸連接，所述壓頭中板固定安裝在所述壓頭過渡板的下側(cè)，所述壓頭中板的下側(cè)設(shè)置所述彈性膠膜，所述彈性膠膜的下側(cè)設(shè)置壓頭，所述調(diào)節(jié)快插接頭固定安裝在所述壓頭中板的上側(cè)，用于給所述彈性膠膜充放氣。確保工件與大盤密切接觸，提高了加工精度和加工效率。