一種拋光盤的水冷結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120266332.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214560121U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214560121U 申請公布日 2021-11-02
分類號 B24D13/18（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 寇明虎;劉泳灃 申請（專利權(quán)）人 北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 101300北京市順義區(qū)順強(qiáng)路1號1幢2號樓101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種拋光盤的水冷結(jié)構(gòu)，包括冷卻盤，還包括進(jìn)水口、出水口和冷卻水路，所述進(jìn)水口設(shè)置在所述冷卻盤的中心位置處，所述出水口為多個，且所述出水口環(huán)繞所述進(jìn)水口均勻分布，冷卻水通過所述進(jìn)水口流入所述冷卻水路，然后通過出水口流出，冷卻水路為曲線回路并設(shè)置有狹小流動口，所述冷卻水路中的擋水處都設(shè)置有坡度。該水冷結(jié)構(gòu)增加了大盤的冷卻面積，加快了冷卻水流速度，冷卻效果得到了提升。