一種具有排污功能的拋光液循環(huán)結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120658527.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215147876U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215147876U 申請公布日 2021-12-14
分類號 B24B27/00（2006.01）I;B24B57/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 寇明虎;劉泳灃 申請（專利權(quán)）人 北京特思迪半導體設備有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 101300北京市順義區(qū)順強路1號1幢2號樓101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種具有排污功能的拋光液循環(huán)結(jié)構(gòu)，包括漏液槽、連接管、排液管、排液盒、擺動槽、固定板和氣動滑臺滑軌，漏液槽固定安裝在加工設備箱體的前側(cè)，所述漏液槽的底部通過彎頭與所述連接管的一端連接，連接管的另一端與所述排液管的一端連接，所述排液管固定安裝在排液盒的上部位置，且所述排液管的另一端伸入排液盒內(nèi)，所述擺動槽設置在所述排液管伸入排液盒內(nèi)的出口位置處，該循環(huán)結(jié)構(gòu)用于拋光液的循環(huán)回收利用，另一個排液出口與排出設備連接，用于將無法使用的拋光液進行排出處理。能夠?qū)崿F(xiàn)拋光液循環(huán)及排出。