一種拋光機(jī)漏液槽

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023097806.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN214025178U 公開(kāi)(公告)日 2021-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN214025178U 申請(qǐng)公布日 2021-08-24
分類(lèi)號(hào) B24B41/00(2006.01)I 分類(lèi) 磨削;拋光;
發(fā)明人 寇明虎;劉泳灃 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 北京特思迪半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 101300北京市順義區(qū)順強(qiáng)路1號(hào)1幢2號(hào)樓101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種拋光機(jī)漏液槽,包括槽體、漏液孔、槽體固定塊、擺動(dòng)臂軸孔和研磨盤(pán)孔,所述擺動(dòng)臂軸孔和研磨盤(pán)孔設(shè)置在槽體內(nèi)部并貫穿漏液槽的底部,其中,所述研磨盤(pán)孔用于安裝拋光機(jī)的研磨盤(pán),所述擺動(dòng)臂軸孔用于安裝拋光機(jī)的擺動(dòng)臂軸,所述槽體固定塊固定連接在槽體側(cè)面,用于固定安裝該拋光機(jī)漏液槽,所述漏液孔設(shè)置在槽體的底部,槽體的底部為斜坡設(shè)計(jì),所述漏液孔固定設(shè)置在漏液槽底部斜度的最低點(diǎn)處。解決了拋光液易積存于漏液槽、腐蝕漏液槽的問(wèn)題,具有拋光液輕松排出,防腐蝕的優(yōu)點(diǎn)。