一種震動探測器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910726910.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110411559A 公開（公告）日 2019-11-05
申請公布號 CN110411559A 申請公布日 2019-11-05
分類號 G01H17/00（2006.01）I; G08B13/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 胡雙; 張建超 申請（專利權(quán)）人 深圳中科系統(tǒng)集成技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 深圳市深佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 深圳中科系統(tǒng)集成技術(shù)有限公司
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新區(qū)中區(qū)科豐路2號特發(fā)信息港B棟704
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種震動探測器，包括：基板，所述基板的第一表面的邊緣具有插針控深孔，且所述插針控深孔的內(nèi)壁設置有銅膜層；位于所述基板的第二表面的震動傳感器；位于所述第一表面的與所述震動傳感器匹配的器件、芯片；其中，所述第一表面與所述第二表面相對。可見，本申請中震動探測器的震動傳感器和與震動傳感器匹配的器件、芯片分別位于基板兩個相對的表面上，避免采用震動傳感器、器件、芯片位于同一表面的設計，從而使基板的尺寸大大減小，因此，震動探測器的整體尺寸減小，使震動探測器向小型化發(fā)展。此外，本申請還提供一種具有上述優(yōu)點的震動探測器制作方法。